Treffer: Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization
Titel:
Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization : fabrication of next-generation nanodevices / Ungyu Paik, Jea-Gun Park
Beteiligt:
Veröffentlicht:
[Erscheinungsort nicht ermittelbar] : CRC Press, 2019
Vertrieb:
London : Taylor & Francis Group
Umfang:
1 Online-Ressource (221 pages : 186 illustrations)
Format:
Sprache:
Englisch
ISBN:
9781000023367 ; 1000023362 ; 9780429291890 ; 0429291892 ; 9781000023220 ; 1000023222 ; 9781000023299 ; 100002329X